半導體載治具介紹 / Wafer & Substrate Carrier 晶圓和基板在製程傳輸與運輸過程中,載治具提供了有效的保護,防止其受到外部環境的污染和損害。進一步可以搭配自動化設備,如LOADPORT和AMHS做開關門和自動化傳送。