產品說明

• 提供PANEL在運輸傳載與儲存時的高效能防護，FOUP內部維持潔淨環境
• 可因應機台參數設定作客製化修改，確保FOUP與機台之相容性
• 具有充氣功能
  
  

產品規格

• Substrate：panel 510*515 mm, 600*600 mm, 515*620 mm
• Capability：6pcs, 12pcs(標準), 16pcs(客製)
• Pitch：50 mm/6 slot, 25 mm/12 slot
• Weight：≦25kg